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; ~: `7 ?. @% s! k) x/ i 5月28日下午,“临港杯”2021年“创青春”上海青年创新创业大赛正式启动。活动现场,上海闪易半导体有限公司CEO鲁辞莽分享了自己的创业心得。
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他先是分享了自己读博时,与一台半导体实验设备发生的故事。这台设备是一台物理气相沉积设备,简称PVD,是半导体实验室里最普通,最常见的材料生产设备。入学第一天起,导师就分配他用这台PVD来做实验。为了能有更好的研究成果,鲁辞莽也主动也承担起了它的维修维护工作。跟学校里和仪器生产厂派来的工程师老师傅们拜师学艺。
7 g- Z, _+ c" p# y) Z8 e" P9 n& q虽然只是一台小小的设备,但它的维护维修其实是一门很深的学问。鲁辞莽说:“就拿拧螺丝来说,大家都会,我家孩子刚上幼儿园玩乐高积木都会拧螺丝了。但是,会给这样的半导体设备拧螺丝的人,几万个人里也挑不出一个。”
: b5 f( l" x* O2 K5 o/ T首先,得放一个黄铜密封垫圈,黄铜垫圈在压力很大的时候是软的,会贴合表面,气密性特别好。但放了垫圈后,只要拧螺丝的顺序和力度有一点点不对,下面的黄铜垫圈就会因为挤压走形而漏气。* r, l7 e7 Z- C7 [7 M7 c ]' p
那这个螺丝该怎么拧呢?快十年过去了,这个流程鲁辞莽现在还记得很清楚,首先,扳手调到12磅力,按照上、下、左、右、左上、右下、右上、左下米字型的顺序拧一遍。然后,再按照顺时针的顺序对每个螺丝拧一遍。接着,把扳手调到15磅力,把刚才的顺序用顺时针的流程再来一圈。这样才能保证不漏气,错一点都不行。拧螺丝只是一个操作细节,像这样的操作细节,有整整一本手册。
& V8 R* m2 M, v3 Y: ] g4 h“我比较自豪的是,这个操作手册上好些章节还是我自己优化改进的”,鲁辞莽举例,比如说微小漏气检查,过去都是用吸入法,就是把设备抽真空,用酒精去滴怀疑漏气的地方,滴到某一个地方,真空计报警了,就说明酒精被吸进去挥发了,那这个地方就是漏气点。但酒精一吸入,就会带来酒精污染。所以鲁辞莽改良出了新的吹气法,就是把所有出气口都关死,用特别纯净的高压气瓶把设备充到2个大气压。这时有破损的地方就会慢慢往外吹气,只要用几滴气泡水,就能找到有吹气出来的地方。这样的吹气检修法,没有杂质会进到设备里面,就特别干净。
2 y& L; I' P, c9 z读博几年里,鲁辞莽凭着这个的爱好,在这台PVD上做实验都特别顺利,他在上面做出的研究结果,也让他获得了学术界和工业界的认可。在国际集成电路大会的网站上,现在还有他歪头傻笑的照片,就是靠这台PVD挂上去的。
/ e3 T" Q/ n6 p0 v" W+ k然而,就在他开始因为这一点点进步而骄傲的时候,发生了一个意外——因为误操作,他亲手把自己的PVD炸了——有次给设备彻底断电检修,因为太自信,他没跟别人商量,就自己动手按照手册关机断电了。谁知,有一路平时不怎么用的气路,连接到了一个100个大气压的超高压气瓶上,在断电的时候,卡在他们的中间的一个特种阀门会默认打开,把两者联通起来。这台PVD,因为是气密的,就被慢慢地充到了100个大气压,就像一个气球一样被吹炸了。
! E- a" K: Z8 G1 P+ R: p" \5 g4 [虽然导师没有责怪他,但这件事让他从骄傲自满里惊醒了。一台小小的实验设备,自己搞了这么多年,还是没彻底弄明白。那工厂里那些真正的大机器、那些巨型的产线、整个无比复杂的半导体产业链,就更需要钻研。0 c9 ~( C8 {& [2 w. [3 ? }2 R2 Y' G
后来他从PVD转向了芯片设计领域,2016年创业时,他就和创业伙伴约定,要默默无闻,脚踏实地做芯片开发。“生产芯片产品,是一件必须敬畏的事。”8 s9 Z0 h G/ A$ w
近些年,行业竞争越发激烈,他们团队也有了一些不错的研发成果,偶尔也会动摇,要不要做些能更快变现的芯片设计?这时,他就会想到那台炸掉的PVD,然后提醒自己:要稳住,不要把公司也炸掉了。后来,他们熬了3年多,打通了一种以前没人做过的芯片技术,并推向了市场。
8 Z! |2 @/ F3 ?7 s( f; b他最后说:“我想对像我一样在芯片行业奋斗的朋友们说,让我们多一点点默默无闻,多一点点脚踏实地,共同攻克一个个难题;对关心中国芯片产业发展的朋友们,请给我们多一点点时间,多一点点宽容,我们一定迎头赶上,造出世界领先的中国芯。”
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